水環(huán)真空泵牽引分子泵為前級(jí)泵的真空機(jī)組
2020-11-23 10:05????點(diǎn)擊：
水環(huán)真空泵目前該項(xiàng)目所采用的真空系統(tǒng)為某公司進(jìn)行設(shè)計(jì)，該公司作為國(guó)內(nèi)真空系統(tǒng)方案解決的行業(yè)龍頭水環(huán)真空泵限于技術(shù)上的瓶頸，仍采用傳統(tǒng)的真空機(jī)組（即以羅茨泵為前級(jí)泵、普通渦輪分子泵為主泵的真機(jī)組），并沒(méi)有很好地解決真空室污染的問(wèn)題。為此甲方單位委托哈工大現(xiàn)代設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行該課題的預(yù)研，提出解決方案。根據(jù)真空環(huán)境的技術(shù)指標(biāo)要求，本課題提出了超潔凈分子泵機(jī)組的概念，并進(jìn)行設(shè)計(jì)分析。該裝置的設(shè)計(jì)及后期的研制將有利于超潔凈真空環(huán)境的獲得，為實(shí)現(xiàn)神光III工程后續(xù)任務(wù)的順利進(jìn)行提供技術(shù)保障。進(jìn)行了著名的馬德堡半球?qū)嶒?yàn)，從此人們對(duì)大氣壓力有了進(jìn)一層的認(rèn)識(shí)，物理學(xué)家們開(kāi)始對(duì)低氣壓中的現(xiàn)象進(jìn)行研究。
工程師也開(kāi)始發(fā)明和改進(jìn)各種獲得低壓環(huán)境的抽氣機(jī)、真空泵。它是將多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)組成的多級(jí)干式泵。45%以上的歐美半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)廠家已經(jīng)用了干式真空泵去代替油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能?，F(xiàn)代加工工藝和分子泵設(shè)計(jì)理論較之前有了很大發(fā)展。為了實(shí)現(xiàn)真空獲得設(shè)備的清潔化、微型化，國(guó)外一些公司也已經(jīng)開(kāi)發(fā)出多個(gè)系列的由渦旋級(jí)轉(zhuǎn)子與多螺旋槽牽引轉(zhuǎn)子組成的復(fù)合式分子泵，并可以實(shí)現(xiàn)從高真空到大氣的直接抽氣，這可以認(rèn)為是真空獲得設(shè)備發(fā)展的重大突破。半導(dǎo)體工業(yè)、慣性約束聚變、宇宙空間模擬等技術(shù)的發(fā)展對(duì)真空環(huán)境的可靠性、絕對(duì)干式化提出了要求展示了現(xiàn)代渦輪分子泵在光刻機(jī)中的應(yīng)用。真空行業(yè)應(yīng)該為用戶提供高品質(zhì)的、使用方便的潔凈的新型干式泵。
