水環(huán)式真空泵的應用優(yōu)勢
2018-12-14 16:00????點擊:
1、水環(huán)式真空泵的工作壓力應滿足真空設備和工作壓力的要求。例如,真空涂層需要110-5mmHg的真空,并且所選真空泵的真空必須至少為510-6mmHg。通常,泵的真空選擇為比真空裝置的真空高一半到一個數量級。
2、正確選擇水環(huán)式真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍。例如,分散泵為10-3~10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內,泵的泵送速度隨壓力變化,穩(wěn)定的工作壓力刻度為510-4 ?510-6mmHg。因此,泵的工作點應在此范圍內選擇,不應允許在10-8mmHg下長時間運行。另一個例子是鈦增壓泵可以在10-2mmHg下工作,但工作壓力應小于110-5mmHg。
3、水環(huán)式真空泵應能在其工作壓力下去除真空設備工藝過程中產生的全部氣體。
4、正確組合了真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送功能,因此有時不能使用泵來滿足泵送要求。有必要組合幾個泵并相互補充以滿足泵送要求。例如,鈦增加了泵對氫氣的高抽速,但它不能泵送,而三極濺射離子泵(或雙極不對稱陰極濺射離子泵)對氬氣具有一定的抽速。結合使用時,真空設備將具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;某些真空泵出口壓力低于大氣壓力,需要前級泵,因此需要將泵組合在一起。
5、真空設備要求油污染。如果設備嚴格要求無油,則應選擇各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵。如果要求不嚴重,可以選擇有油泵,加上一些油污方法,如加入冷阱、擋板、油阱等,也可以達到真空要求。