水環(huán)式真空泵的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)有哪些？
2019-01-02 15:52????點(diǎn)擊：
1、水環(huán)式真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備和工作壓力的要求。例如，真空涂層需要110-5mmHg的真空，并且所選水環(huán)式真空泵的真空必須至少為510-6mmHg。通常，泵的真空選擇為比真空裝置的真空高一半到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
2、正確選擇水環(huán)式真空泵的工作點(diǎn)。每個(gè)泵都有一定的工作壓力范圍。例如，分散泵為10-3~10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的泵送速度隨壓力變化，穩(wěn)定的工作壓力刻度為510-4。 ?510-6mmHg。因此，泵的工作點(diǎn)應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇，不應(yīng)允許在10-8mmHg下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。另一個(gè)例子是鈦增壓泵可以在10-2mmHg下工作，但工作壓力應(yīng)小于110-5mmHg。
3、水環(huán)式真空泵應(yīng)能在其工作壓力下去除真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體。
4、正確組合了水環(huán)式真空泵。由于水環(huán)式真空泵具有選擇性泵送功能，因此有時(shí)不能使用泵來滿足泵送要求。有必要組合幾個(gè)泵并相互補(bǔ)充以滿足泵送要求。例如，鈦增加了泵對(duì)氫氣的高抽速，但它不能泵送，而三極濺射離子泵（或雙極不對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬氣具有一定的抽速。結(jié)合使用時(shí)，真空設(shè)備將具有更好的真空度。另外，有些水環(huán)式真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；某些水環(huán)式真空泵出口壓力低于大氣壓力，需要前級(jí)泵，因此需要將泵組合在一起。
5、真空設(shè)備要求油污染。如果設(shè)備嚴(yán)格要求無油，則應(yīng)選擇各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵。如果要求不嚴(yán)重，可以選擇有油泵，加上一些油污方法，如加入冷阱、擋板、油阱等，也可以達(dá)到真空要求。
